二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274993 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是專門為光刻工藝設計的光刻設備。它可以用來為各種用途，例如半導體芯片生產和掩模制造，在掩模中創建圖樣。光致抗蝕劑材料用於在基板或器件（如半導體芯片或掩模）的表面上產生圖樣。TEL Lithius系統由掃描電子束曝光工具、掩模書寫單元和光敏材料組成。掃描電子束曝光工具用於將電子束的圖樣繪制到掩模上，形成圖樣化的表面。然後,掩碼寫字機處理此模式,以便在基板或掩碼上創建圖像。然後將光致抗蝕劑材料施加到基板或遮罩上，圖樣可以轉移到基板或遮罩上。TOKYO ELECTRON Lithius工具的關鍵特性之一就是其高分辨率。它能夠實現亞微米分辨率,這意味著它可以產生特征大小降至亞微米範圍的圖樣,這對於許多先進技術來說是必不可少的,例如半導體芯片和芯片掩碼。該資產還能夠創建高長寬比結構（深度與特征尺寸之比），這對於半導體芯片的生產和掩模制造至關重要。鋰模型還能夠支持其他需要更高分辨率的技術，如3D打印和接觸光刻。該設備還支持使用多種不同的光刻膠，如環氧光刻膠、聚酰亞胺光刻膠等。這使得系統可以用於各種不同的基板和掩模。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius單元被設計為人性化且易於使用。這使得它非常適合那些新的光刻或有限的經驗與技術，因為他們可以快速學習和熟悉機器。總體而言,TEL Lithius工具是光刻和掩碼書寫應用的綜合解決方案。它的高分辨率和對多種光刻材料的支持允許制造復雜的圖樣和結構。該資產的用戶友好型設計也使其適合經驗豐富和經驗不足的用戶。