二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275245 待售

TEL （TOKYO ELECTRON LTD.）TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL/TOKYO ELECTRON開發的光阻設備。它用於生產半導體和顯示器件，設計用於在超清潔環境中實現最佳生產力和性能。該系統采用了最新的光學技術，適用於高精度光刻工藝。該單元的光學設備包括多個透鏡和微透鏡，能夠實現高圖像分辨率，其光刻膠在暴露於光刻機的紫外線（UV）光下具有很高的對比度。該工具的高精度電動級能夠在不振動的情況下精確移動晶片，確保即使在低k電介質表面上的最佳曝光精度。該資產具有精確控制工藝參數的能力，如暴露劑量和均勻性、噴霧距離、螺距和光刻圖案。這允許高效生產高質量的半導體器件。此外，該模型基於一個控制顆粒物、濕度和溫度的自給自足的環境，使環境保持清潔，對使用者來說是理想的。該設備提供各種配件和選項,旨在優化不同應用中的性能。這些設備包括微處理站，用於精確繪制標線和口罩的圖樣，步進和掃描儀組件，用於自動光刻操作，以及用於高速、集成制造的自動設備處理程序。而且，系統包括脫機編程功能，使用戶能夠開發復雜的序列和定制配方，可以快速準確地復制。總體而言，TEL Lithius是生產半導體和顯示器件的理想解決方案。它具有最新的光學技術、工藝參數的精確控制和環境控制功能。此外,它還包括一系列附件和選項,以優化不同應用程序的性能。