二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款設計用於制造集成電路的光刻設備。該系統以TEL先進的光刻技術為基礎，為先進的半導體器件提供了一整套光刻工藝。它被設計為能夠快速和精確的蝕刻抗蝕劑的圖案，使高分辨率和優於半導體器件的特點。該裝置能夠提供高度精確的背面對準，使其成為減少叠加誤差和緊密叠加控制的理想選擇。該機可以連續監測和調節抗蝕劑的狀態，以獲得最佳效果。這有助於以更高的精度獲得所需的模式。該工具還可確保圖案的均勻蝕刻,確保特征被精確蝕刻。光致抗蝕劑資產具有先進的制備工藝，有助於在蝕刻前制備抗蝕劑表面。它配備了一個靜態消除裝置，可以最大程度地減少表面的汙染，同時提供最佳質量的蝕刻工藝。該型號配備單一晶片裝載設備，從而可以減少裝載時間，降低晶片暴露於更大汙染水平的風險。該系統還有一個用作保護晶片絕緣體的介電面板，以及一個用於維持一致溫度的內置加熱單元，以便於操作。使用圖形用戶界面和用戶友好的控件可以輕松操作機器。它還被設計成與在開放式現場總線系統上運行的其他系統相連接。這確保了數據可以在兩個系統之間無縫交換。該工具可靠、安全、易於使用，為生產先進半導體器件提供了經濟高效的解決方案。此資產非常適合用於新產品開發、設計工程或生產應用程序。