二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9276842 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻設備，利用數位印刷技術在基板上製造極精確的圖樣。該系統旨在以精確的精度創建尺寸小至50 nm的陣列。這些特征允許以出色的分辨率生成陣列,從而創建更小、更復雜的特征。TEL Lithius利用一種稱為自旋沈積的工藝，將光致抗蝕劑精確地輸送到基板上。在這個過程中，帶電的槍管將精確量的抗性液體分配到基板上，然後通過旋轉均勻散布。這種精確的沈積能確保抗蝕劑不會浪費，並且所有基板的區域都被均勻塗覆。TOKYO ELECTRON Lithius然後使用精密的紫外線（UV）成像技術來製造精確的圖樣。通過操作UV激光器，該單元幾乎可以對任何種類的基板進行圖樣繪制。激光制圖允許在當代光刻分辨率以下制作特征，產生極精確的圖樣，並具有精確的實際控制。光致抗蝕劑被激光圖樣改變，可以根據激光的參數和曝光的長度或多或少地蝕刻掉。通過調整設置，機器能夠創造比傳統光刻技術更復雜的形狀。此外，Lithius可以用來修改現有的模式，允許進一步的精度和細節。該工具還能夠生產磁盤和晶片等有圖樣的介質,並為用戶提供各種功能來定制其生產以滿足其確切需求。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一項極為可靠和精確的資產，在許多行業有廣泛的應用，從微電子到醫療植入物再到汽車元件。它為用戶提供了無與倫比的精確度可靠、精確的模式,使他們能夠輕松地快速輕松地創建復雜的零件和組件。