二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9286669 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻膠系統，用於從電腦輔助設計製作光掩模。它是一種數字化的光刻形式，是將圖像轉移到光敏材料上的過程。來自TEL的獨特系統使用戶能夠以卓越的精度和可重復的高性能從多邊形和模具模式數據中生成高分辨率的光掩碼。該過程從聚合物光致抗蝕劑及其相應的層掩模開始。光致抗蝕劑散布在所需的表面上，然後暴露在高能光源的光下，如紫外線激光器。經過預定的一段時間後，能量已被光刻膠充分吸收，導致光化學反應形成其對應的細分辨率光刻膠圖樣。掩模包含所需的要傳輸的圖樣,將其對齊並註冊在光刻塗層表面上。圖像傳遞過程被打開，來自激光的光激活了光刻膠中暴露的部分。發生特定的化學反應，在光敏溶劑中產生溶解的區域，然後允許圖樣從掩模轉移到光刻膠上。轉移完成後，溶解的區域用密閉的顏色填充，在光致抗蝕劑上形成精確的圖案。之後，感光層的元件被有選擇地洗掉，以清理圖樣。然後將生成的具有所需形狀的圖像切成正確的大小和形狀。最後，光掩碼已經完成，準備用於各種應用，例如用於生產集成電路、傳感器元件、連接器和其他元件。TEL Lithius是將圖像傳輸到光掩模中的絕佳系統。它能夠創建高分辨率的圖樣和可重復的高性能使它與常規的光刻不同。隨著市場對高品質產品的要求越來越高，對任何尺寸的精確圖像傳輸的需求也越來越高，使得TOKYO ELECTRON Lithius成為復雜的光掩模生產的理想選擇。