二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9290886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款基於公司成熟技術的光刻設備。該系統旨在為成像元件的生產執行精確的薄膜母帶處理。該單元由兩個主要組件組成，即薄膜母帶單元（TFMU）和高質量成像（HQI）單元。TFMU由一個大型儲罐、一個激光爆破站、一個加熱元件和一個增加環境光的光源組成。HQI單元由輻射硬化相機、輻射計算組件和圖像數據生成組件組成。薄膜母體裝置（TFMU）由一個裝有含有光敏材料的水溶液的罐體組成。光致抗蝕劑材料在通過激光束暴露於光下時能夠形成特定圖樣的薄層。坦克的整個表面積由高強度、脈沖激光束照射。脈沖激光束用於創建不同的圖樣和尺寸的抗輻射圖樣。激光強度和脈沖長度由TFMU控制器管理,以確保陣列的精度。TFMU也使用加熱元件在每一個圖樣化週期後反沖光敏材料的表面。HQI單元由一臺照相機組成，用於捕捉和測量TFMU創建的圖樣和圖像。HQI單元的目的是提供準確的成像數據，然後將其用於光敏材料的進一步加工和制圖。HQI單元還包括輻射計算組件，使其能夠區分不同的輻射水平並提供準確的數據。此外，HQI單元還包括一個圖像數據生成組件，該組件提供必要的數據，以便將圖樣和圖像精確傳輸到光刻材料。TEL Lithius是一款可靠的光刻機，用於精密制作薄膜輪廓。該工具包括爆破站、加熱元件、照相機和圖像數據處理等組件，這些組件可以協同工作，為成像元件的生產提供詳細的模式。通過提供準確的數據，HQI單元允許圖像數據處理和陣列制作高質量的成像組件。光致抗蝕劑資產還配備了輻射計算組件，使其能夠準確區分不同的輻射水平。TOKYO ELECTRON Lithius憑借其先進的技術，是一種高效可靠的薄膜型材制造模型。