二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296645 待售
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ID: 9296645
Coater / Developer system
Career station block
Process block
Coat process station
Develop process station
Plate process station
Interface block.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種高性能的光刻設備，能夠實現用於生產半導體微電路的光刻工藝。該系統的設計目的是在基板上提供光刻膠的清潔沈積，以便對所需的電路設計進行精確的制圖和蝕刻。它還能夠通過使用化學溶劑沖洗浴和異丙醇刷來盡量減少過程中的任何汙染。該單元由幾個組件組成，包括準分子激光器、基板支架、光敏抗蝕塗層機和陰影面罩。準分子激光器用於創建紫外線脈沖，這些脈沖通過陰影掩碼（包含電路設計）傳輸到基板表面。光照強度是可調的，以便電路設計的精確分辨率。基板支架用於保持水平一致的基板表面,允許精確塗層.光敏性塗層工具用於均勻地將光敏性物沈積在基板上。抗蝕劑在紫外線照射下反應，變得不溶解。這樣就可以對所需的電路特性進行陣列化。異丙醇刷子用於擦洗基板表面，以去除任何多余、不溶性的光致抗蝕劑，以及任何汙染顆粒。為進一步確保清潔，資產配備了化學溶劑沖洗浴，在底物轉入下一階段生產之前提供最後沖洗。所有這些組分的結合使得TEL Lithius成為有效的光敏模型，能夠產生高分辨率的微電路。它是生產先進微電子器件的寶貴工具。
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