二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296904 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是專門為納米技術制造而設計的先進光刻設備。它能夠揭示半導體晶片的最小細節，從而能夠精確控制制造過程。該系統采用低成本、高性能的光刻沈積溶液以及晶圓上最小的結構特征成像。TEL Lithius單元的主要部件是晶片監視器，它測量晶片表面的電阻率以獲得最佳電阻率均勻性，以及圖像發生器，它可以在晶片上產生幹凈、可重復的圖像。圖像發生器由真空界面和圖像掩碼兩個主要元素組成。真空界面負責將晶片設置為適當的沈積壓力，允許整個晶片具有均勻的電阻率。圖像掩模塗有金屬薄膜以控制光刻膠的沈積，產生反映電路板布局的精確圖案。在操作中，TOKYO ELECTRON Lithius機器將晶片暴露在光源下，以揭開晶片上所需的圖樣。然後開發了沈積在晶片上的光刻膠，從而可以精確檢查顯影的細節是否準確。檢查後,晶片將被轉移到光刻站,在那裏與所需的電路板布局對齊。最後,蝕刻晶片以創建所需的元件。Lithius提供了一種出色的光致抗蝕劑工具,可以在納米級精確制造。其晶片監視器和圖像發生器組件保證晶片在精心監控制圖過程的同時得到適當的調節，確保了最終結果的高質量和可重復性。因此,它是尋求高效、精確的自動控制解決方案的納米技術制造商的寶貴資產。