二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296906 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻設備，設計用於生產半導體材料。該系統用於將圖樣蝕刻到半導體晶圓中，以便在其表面上創建微小的特征或組件。設備使用一個「掩碼」,其中包含放置在晶片上的預選模式。晶圓再暴露在高強度的輻射下，通常是紫外線，使圖樣轉移到其表面。圖樣的傳遞過程稱為光刻，TEL Lithius采用獨特的「電子束光刻」方法。這涉及電子束被樣品上的一系列光電偏轉板聚焦和偏轉，以使精確的輻射量到達晶圓。這樣可以減少表面上的原子,減少所需的蝕刻時間。該機器能夠提供超高精度的蝕刻,能夠在36 x 36 mm的區域內創建小至0.012微米的功能。由於梁可以以非常高的精度進行操縱，這種高度精確的過程也使具有復雜甚至弧形形狀的特征得以創建。可調整光刻膠水平以獲得不同尺寸的特征。同樣可調節的是信噪比，允許更多的控制模式和工作與任何薄膜厚度產生高分辨率的結果。該工具還具有獨特的電極濾波器，提供高分辨率和均勻的性能。TOKYO ELECTRON Lithius的低維護設計確保了可靠性，允許長時間的持續高質量生產。它提供了較短的曝光時間,非常適合快速循環生產,並且對過程的高度控制確保了非常精細和一致的蝕刻。鋰具有很高的精度和可靠性，是精密蝕刻半導體的理想技術。它實現了很高的分辨率和改進的均勻性，使其成為生產集成電路和其他納米技術設備最合適的系統之一。