二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9309643 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius光刻設備是一種健壯可靠的光電光刻工具，使用步進重復的光刻塗層方法來精確圖樣基板。系統從被放置在基板支架上的基板開始，如矽片。紫外線光源用於將基板暴露於預定義的曝光模式。該光源使用一組標線圖案，這些標線定義了基板每一層的曝光模式。光源通常設置為365nm的波長。基板暴露在紫外線下後，在基板上散布著一層光致抗蝕劑。光致抗蝕劑用量子點層覆蓋基板，對基板的曝光模式有反應。在光抗蝕層就位後，酸蝕刻過程分解量子點層，留下有圖樣的底物。TEL Lithius單元可以產生0.5微米的分辨率，適用於許多需要以1微米或更精細的分辨率進行精確處理的應用。這使得TOKYO ELECTRON Lithius光致抗蝕劑系統成為微電子、半導體加工、光學介質制造等應用的理想選擇。除了光阻系統的標準功能外,Lithius系統還提供自動化和可編程的功能。其中包括自動重復曝光機、可編程抗蝕劑、曝光窗口優化和薄膜厚度監視器。這些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON Lithius光刻膠系統比市面上的其他光刻膠系統更高效可靠。最重要的是,TEL Lithius光阻工具是一種功能強大且可靠的工具,可提供精確、高分辨率和可重復的陣列。使用可編程抗蝕劑等特性使得TOKYO ELECTRON Lithius成為微電子等高精度應用的理想選擇。