二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9314371 待售
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光刻設備,如TEL/TOKYO ELECTRON Lithius,是一種用於制造半導體集成電路的基礎光刻系統。在光刻過程中,光能用於將電路圖樣傳遞到感光膜(photoresist)上,然後通過化學過程轉移到矽片表面。此過程有效地創建了電路模式的多個副本。TEL Lithius是為緊湊、線性運動而設計的光刻機。它為半導體制造提供了高精度、高速、經濟高效的解決方案,允許以快速循環時間進行模式傳輸。該裝置采用高度靈敏的投影對準相機和自動軟件機器,以確保電路模式被精確地轉移到光刻機上。該工具還配備了用於精確模式曝光設置的綜合監控資產。TOKYO ELECTRON Lithius光刻機具有精確的亞微米分辨率,適合用於大批量生產運行。該模型利用高精度掃描儀在各種放大倍數下進行精確的曝光控制,並利用先進的計量設備對任何暴露的對準誤差提供快速反饋。該系統還具有高速石英成像單元,具有先進的數字圖像處理,可實現高質量的光掩模圖樣。鋰為半導體制造提供了可靠、準確的解決方案。它是一臺高度智能化的機器,以最低的成本提供極其精確的結果和高的吞吐量速率。此外,該工具對用戶友好,能夠自我診斷,使其成為生產復雜半導體器件的寶貴工具。
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