二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315052 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款革命性的光阻設備,旨在滿足當今半導體制造商的高精度要求。這種光刻膠系統以其低溫柔韌性和提供比其他光刻膠系統更好的尺寸穩定性而著稱。TEL Lithius單元由高分辨率光源組成,可用於曝光到光掩模或其他模板上。該光源設計為提供高精度和低失真,同時仍允許用戶進行快速曝光。然後使用光掩模曝光在光刻膠中形成一個特定大小的線型,可用於在晶圓表面上繪制各種特征的圖樣。接下來,利用TOKYO ELECTRON Lithius機開發光刻的過程開始了。這是使用設計用於低溫運行的高精度處理機完成的。這使得即使是需要打印到晶圓表面的最復雜的結構也能提高尺寸穩定性。該工具還消除了可能損壞某些過程的熱膨脹和收縮。與其他光刻膠工藝相比,鋰資產還具有更高的分辨率.這是因為即使在打印復雜特征所需的低溫下運行,它也能提供高達5微米甚至更低的分辨率。這意味著用戶可以實現非常高質量的圖像,並且可以非常詳細地復制最復雜的模式。為了完成光刻工藝,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius模型還具有旨在減少工作場所照明的負幹擾的功能。這有助於在晶片表面需要直接照亮或以斜角照亮的情況下實現極其清晰的畫面。總體而言,TEL Lithius設備是一種革命性的光阻系統,它提供無與倫比的分辨率、低溫靈活性、改進的尺寸穩定性以及許多其他功能,使其非常適合為各種應用創建高質量的微處理器。這就是為什麼它在半導體行業中不斷走紅的原因。
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