二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315797 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種用於半導體器件制造的光刻設備。它基於一套高度先進的光刻元件，包括基於LED的曝光模塊、「快門」模塊、液晶裝置圖案發生器、光學組件和晶圓處理系統。這些組件結合在一起，使得光刻過程中能夠可靠地、一致地輸送光刻膠。基於LED的曝光模塊利用紫外線照明在晶片表面上曝光光刻膠。此模塊能夠在非常短的曝光時間內生成高質量的圖像。除此之外，它還具有對光強度的精確控制，即使在較小的特征尺寸下也可以對光刻膠進行詳細的圖案。快門模塊用於精確的晶圓對準和曝光控制。它配備了一個機動裝置，使其能夠調整其位置，以便在處理過程中阻擋某些區域的暴露。這樣可以確保在曝光過程中不在晶片上打印不需要的特征。液晶器件圖樣發生器用於復雜的光刻圖樣制作。它的工作原理是將高（5 μ m）空間分辨率模式發生器板與高速（kHz）液晶裝置相結合。這種組合可以精確控制模式均勻性，從而確保晶圓上沒有出現不均勻的模式。TEL Lithius的光學組件由高品質的透鏡和板組成，保證了非常高的光強度和廣泛的波長。結合基於LED的曝光模塊，這提供了晶圓表面上光刻膠非常光滑甚至均勻的曝光。最後，該刀具的晶圓處理機確保晶圓在曝光過程中保持靜止。該資產配備了具有xyz運動級的受控磁場，可用於精確的晶圓對準和定位。這一點很重要，因為光刻過程中晶片的任何運動都會影響制圖，並導致性能的偏差。總之，TOKYO ELECTRON Lithius是一種高度先進的光致抗蝕劑模型，由一套高度先進的元件組成，能夠在晶圓表面上可靠地、一致地曝光光致抗蝕劑。它能夠產生的圖樣的精確度和細節甚至適用於最復雜的半導體制造任務。