二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355511 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款用於精密光刻工藝的高性能光刻設備。它用於在晶圓表面上創建超細結構以創建半導體元件。該系統利用基於激光的六軸曝光過程，並利用多波長紫外線光源進行精確的光學曝光。TEL Lithius由一個臺式抵抗塗層單元和激光曝光單元組成。抗蝕塗層單元提供了多種塗層方式和塗層重量，以確保光敏塗層均勻一致。本機采用的光刻膠可以從正向到負向變化，還包括抗反射和耐蝕刻塗層。基於激光的曝光過程是由一系列透鏡和鏡子以及高強度成像裝置產生的。激光曝光工藝采用線性光學和對準技術的獨特組合，以提高精度和重復性。可變結構成像技術也可用，它允許在基板上的不同高度成像，以創造3D效果。曝光工具還可以配置多個波長的光學器件，以容納各種各樣的光敏材料。TOKYO ELECTRON Lithius兼容現有的成像系統主機，以及當前和即將推出的設備。它還為容納多種晶圓尺寸和基板提供了廣泛的資產靈活性。此外,該模型還具有強大的客戶服務網絡和工廠服務支持。總體而言，鋰是制造尖端半導體結構的理想選擇。其用戶友好的界面、可調節的線性級、強大的成像系統和多波長光學器件使其成為精密光刻工藝的理想設備。該系統可以輕松滿足各種設備開發生產的要求。