二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355520 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻設備，使用專門的光刻塗層將器件圖樣傳遞到晶圓或基板上。光刻是將一層薄薄的光刻材料的特定區域暴露於紫外光的過程，這使得暴露的材料變得更具化學敏感性。這使得暴露材料的化學去除能夠在光致抗蝕劑層中形成圖樣。TEL Lithius光刻系統利用先進的塗層工藝，在各種基板上創造出復雜的微米和納米尺度特征和圖案。光刻過程的第一步是在基板上塗上光刻膠薄膜。分發器在基板上創建均勻的光刻膠層,並自動對齊要創建的陣列。光刻膠透過複合光學單元（SITEX）接觸紫外線。通過掩模傳輸的紫外線指向抗蝕劑以創建所需的圖樣。隨後，開發出暴露的抗蝕劑，去除暴露的材料形成花紋。然後對開發的基材進行加工、洗滌，並用SITEX機進一步減少圖樣為光致抗蝕劑的工藝。TOKYO ELECTRON Lithius光刻工具除了創造微量和納米尺度的特徵外，還能夠利用高解析度的材料來製造高密度的器件圖樣。該資產還采用先進的自動化和過程監測系統進行質量控制，以及廣泛的基材和抗性，以有效降低成本。鋰光刻工藝對於半導體器件的制造和制圖是必不可少的.光刻膠允許對去除的材料數量進行非常快速和精確的控制，使其成為精細圖案的主要工具。該模型提供了對創建復雜半導體器件所需的特征大小和其他關鍵光刻參數的控制。該設備用於制造晶體管、集成電路、內存芯片、完整微處理器以及其他類型的電子元件。