二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355521 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款設計用於處理半導體晶片的光刻設備。光致抗蝕劑是一種光敏材料，用於表面，以便蝕刻或發展圖樣和結構到基板。TEL Lithius的建立是為了提供精確的基板圖樣,對關鍵過程的汙染最小。系統的核心是一種專有光源，產生一條高強度的準直、均勻的深紫外線（DUV）光。這種光源被用來直接以受控量的光能暴露光刻膠層。然後在確保精度和最小變化的閉環環境中完成基板的陣列。TOKYO ELECTRON Lithius還包括一個調節基板溫度的自動溫度補償單元，以優化工藝參數。機器是模塊化的，使用戶能夠自定義工具以滿足每一個特定的應用程序。它帶有各種模塊，這些模塊是為加工各種類型的基材而量身定制的。這些模塊包括真空卡盤、旋轉器、軌道和掃描儀。真空卡盤作為基板被轉移和密封的平臺。旋轉模塊用於旋轉基板，因為光源以360度圖樣照亮光抗蝕劑。跟蹤模塊用於以所需的模式移動基板。它跟蹤光源和基板的位置，以便精確移動基板。掃描儀模塊可以用來處理大基板，產生極小的圖案。Lithius的自動化軟件允許用戶輕松編程特定的模式設置。它使用人工智能算法建議優化設置以加快處理速度。該資產還包括一個「教學和重復」功能，允許用戶快速編程復雜的模式。所有這些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON Lithius模型成為一個強大而可靠的工具，用於復雜而精確的基板圖樣。其強大的設計和多用途的模塊使其能夠很好地適應各種應用，從半導體加工到醫療應用。