二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9358674 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種用於半導體制造的光刻設備。光致抗蝕劑是一種光敏聚合物，在受到輻射的情況下會發生化學反應，產生改變形式的材料，其性質使其適合在半導體工業中應用。TEL Lithius系統專門從事與半導體行業光刻有關的光刻工藝。它利用一個抵抗分解投影儀，以紅外光源來暴露基板。投影儀還可以配備激光掃描儀，以更精細的細節水平照射光抗蝕劑。該單元控制曝光時間、光照強度和聚焦精度，精度高。它還能夠控制光致抗蝕劑如對準、表面缺陷控制和初步預處理。過程中嚴格控制溫度和濕度，確保結果均勻，即使環境發生變化。曝光機可與自動裝配線集成。它支持多種基板,每個作業都有用戶定義的設置。它可用於具有適當配置的小批量生產。它為用戶提供了先進的技術，如激光束寫入和電子束繪制。為了確保結果的最高質量,該工具采用現場驗證的數據資產進行設計。它允許用戶在曝光過程中實時訪問,以及在安全模型中查看曝光後數據。該設備具有高精度、高吞吐量和數據保護功能,可確保產品安全。它在從概念到制造應用程序的各種工作中提供卓越的結果。為了幫助支持用戶,系統提供持續的技術支持、專業咨詢服務和高級故障排除。TOKYO ELECTRON Lithius光刻裝置是任何半導體生產環境的理想選擇。它提供了高精度、簡化的生產方法、更高的吞吐量和數據安全性。憑借其先進的功能，它是任何需要光刻技術生產半導體器件的應用的絕佳選擇。