二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9361840 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款為半導體制造中的高級工藝而設計的光刻設備。光致抗蝕劑系統在芯片制造中被廣泛使用，以創建用於驅動電信號的電路模式。光致抗蝕劑系統的主要功能是通過化學反應和/或物理力實現蝕刻（通過化學或物理手段去除材料）與沈積（以連續方式添加材料）。TEL Lithius允許在各種蝕刻參數上蝕刻微型晶片,所有這些參數的精度均為0.001\\m（微米）。使用各種升級解決方案,它能夠處理多達3英寸的晶圓。該系統分三個步驟工作：首先是光刻膠的圖樣化，然後進行聚焦蝕刻以去除材料，最後進行選擇性沈積以填充圖樣化的空間。TOKYO ELECTRON Lithius為先進的光刻工藝提供全面支持。它支持包括先進電子束單元在內的一系列光學系統，使用戶能夠創建精確的亞微米電路模式。這臺機器設計得非常精確，精確的光學分辨率補償任何漂移。此外,高精度的傾斜級允許刀具以高達0.1度的分辨率傾斜基板,從而提供超高晶圓均勻性。鋰可以提供高蝕刻速率、高選擇性、低易感性的腔室汙染。通過先進的蝕刻技術和氣體控制，可以達到電弧和反應性濺射等多種效果。最後，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius具備自動化所有流程的能力，包括氣體輸送、真空維護、消耗監測和清潔/監測周期，是一種高效且具有成本效益的光致抗蝕劑資產。
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