二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9362296 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是用於開發集成電路（ICs）、薄膜晶體管（TFTs）和微機電系統（MEMS）的光刻設備。該系統結合了光刻、蝕刻和塗層技術，在矽晶片上創建復雜的圖樣，然後用於生產復雜的IC、TFT和MEMS設備。TEL Lithius單元從一個未遮蓋的晶片開始,在該晶片上應用光致抗蝕劑。光敏材料是一種光敏材料，用於在晶片上創建光刻圖案。然後使用光源（如無掩碼投影儀或接觸打印工具）將晶圓的區域暴露於光圖樣或圖像中。曝光完成後，晶片再在曝光後烘烤中加熱，使光刻膠的曝光區域變硬。然後使用化學或水顯影劑除去未暴露的光刻膠部分。這留下了一種可用於進一步加工的裸露光刻膠圖樣。下一步是蝕刻，利用等離子體、離子磨、反應性離子蝕刻器（RIE）或其他技術將暴露的圖樣轉移到底層基板上。這一蝕刻步驟從晶圓中去除雜質和圖案化的光刻膠，在基板上形成微小的特征。最後，用物理氣相沈積（PVD）或化學氣相沈積（CVD）將圖樣化的晶片塗上金屬或其他材料的薄膜。此層在為設備添加電氣或機械性能（如電導率或彎曲能力）的同時保護底層晶片。TOKYO ELECTRON Lithius machine是生產現代IC、TFT和MEMS的重要工具，因為它能夠高精度地在晶圓上創建錯綜復雜的圖樣。可用的掩模、光源和化學蝕刻劑使工具能夠產生高度精確的3D結構,其特征尺寸達到納米級分辨率。此資產是創建下一代電子和微系統的基本工具之一。