二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9362659 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種用於半導體器件制造的光刻設備。是專為量產光掩模和器件而設計的高端光刻系統。此單元基於獲得專利的多光束技術,即使在較小的特征尺寸下也能實現高精度陣列。該機器還能夠產生分辨率高達5nm的模式,即使在高吞吐量下也是如此。該工具包括掃描儀、曝光工具和成像資產。掃描儀以受控的方式在成像模型上移動基板以顯示所需的圖樣。曝光工具允許用戶控制模式的強度和焦點。這樣可以確保高精度,同時支持多種工藝條件。成像設備由探測器、圖像處理器和精細步進電機組成。檢測器從光掩碼中收集和提取圖樣信息。然後,圖像處理器組織和操作數據以構建所需的結構。精細步進電機然後對準和聚焦成像系統，以確保高精度圖樣。TEL Lithius抗蝕劑單元還支持包括正負光致抗蝕劑、正音和負音光致抗蝕劑，甚至有機光化學在內的多種光致抗蝕劑。它還允許用戶輕松集成過程控制算法，以最大限度地提高產量並節省成本。最後，該機還設計了自動汙染檢測工具、緊急安全快門、被動安全資產等安全特性。這些功能確保模型始終保持安全和正常運行。總體而言,TOKYO ELECTRON Lithius是一款用途廣泛且可靠的光刻設備,即使在功能尺寸較小的情況下也能提供非常高精度的陣列。它為用戶提供了一系列適合各種應用的光刻膠，以及一個簡單的集成過程控制算法。最後,它還配備了各種安全功能,以確保用戶能夠抵禦任何潛在的事故。