二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9365931 待售

TEL LASER TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TOKYO ELECTRON開發的光刻設備。它是一個由全場曝光工具和跟蹤單元組成的組合系統,能夠快速準確地制造眾多零件。首先,Laser TEL Lithius機器在405 mm的波長下提供了近460 mW的光源,允許快速曝光時間和快速處理速度。激光對準的精度也提供了0.4 μ m的清晰分辨率和準確度，並且在2mm的方形區域內失真小於200 pm。這使得在需要高精度的制造項目中實現高精度變得非常容易。激光對準也是非常低的噪聲，這意味著它可以用於高標準的圖像質量的應用，如HDI。該激光器的小光斑尺寸僅為150至600 μ m，這意味著它非常適合復雜的特征和表面圖樣，其精度比常規曝光工具更為精確。Laser TOKYO ELECTRON Lithius的曝光也可以精確定向，使其對於過程中需要高度定向和精確度的眾多模式都是完美的。The Photo Resist coat also very efficient with the Laser Lithius tool.光致抗蝕劑的厚度可達12 μ m，擴展寬度可達2 μ m。這樣就能夠與成品建立牢固的聯系,確保更好的圖像質量,並確保零件在加工過程中連接良好且穩定。Laser TEL/TOKYO ELECTRON Lithius資產還有一個Digital Mulitplex選項，允許單次拍攝多次曝光。與其他系統相比,這允許更快的處理時間,並允許更高的部件吞吐量,並使公司在零件生產方面具有更大的靈活性。最後,該模型還具有廣泛的功能,使其成為眾多過程的理想選擇。這些功能包括軌道清潔度、應力緩解計劃（SRP）、高速數據傳輸和自動範圍選擇（自動選擇需要曝光的零件）,這些都提高了制造過程的效率和準確性。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON LASER TEL Lithius是一款功能極其強大的光刻設備,可提供高精度和高速度的復雜零件生產。它可靠且用途廣泛,對於希望制造精密零件的公司來說,它是一個理想的選擇。