二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9378255 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種在半導體和微電子工業中用於抵抗加工的光刻設備。該系統允許對金屬化、隔離和其他功能進行高分辨率的圖樣化,直至超細線寬0.12 µm。該單元由三個主要組件組成：一個光刻膠自旋塗層機、一個曝光單元和一個用於顯影光刻膠薄膜的熱板。光致抗蝕劑自旋塗層機用於在基板上均勻地塗覆一層薄薄的光致蝕劑。此薄層用作後續蝕刻的掩碼。旋轉塗層可以編程為以不同的速度和方向旋轉，這取決於所需的層厚度和塗層的均勻性。光刻曝光單元利用紫外線在紫外線接觸的基板區域硬化了光致抗蝕劑。這可以精確地形成圖樣，因為紫外線可以以所需的形狀定向。曝光單元通常是一個單一的光掩模或一個光對齊器能夠暴露蒙版的兩個圖樣面。遮罩使用單個標線，而對齊器使用雙標線進行晶圓級曝光。熱板是機器的最終組成部分，用於烘烤再開發光刻膠。在此過程中，光致抗蝕劑被加熱並暴露於顯影劑溶液中，顯影劑溶液在暴露的區域中去除了光致抗蝕劑形成圖樣。這些板通常加熱到最高200 °C的溫度，這是驅動化學反應所必需的。總體而言，TEL Lithius是一種用於復雜光刻膠圖樣的高效工具。該資產提供高分辨率的陣列以及簡單的編程,以允許用戶靈活。通過塗層、曝光和熱烘烤/顯影三個組成部分相結合，實現了高分辨率、高均勻性的模式形成。這使得高質量的半導體和微電子器件可以創建精細的細節。