二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9391711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款光刻設備，能夠實現精確的光學光刻工藝。光致抗蝕劑是一種紅外敏感或可見光敏感材料，用於制造微電子制造中的圖樣。該系統通過將抗蝕劑（一種對某種材料具有抗性的材料）暴露於圖案化光束中來運行。抗蝕劑然後在合適的溶劑中發展，這會導致抗蝕劑的暴露區域被去除。抗蝕劑的其余暴露區域將被用於定義微電子制造中所需的模式。TEL Lithius由幾個組件組成：1）抗蝕室：這是抗蝕劑暴露在光線下的地方，使其成為單元中最重要的部分。抗蝕室內部有真空泵和冷凝器透鏡，有助於將抗蝕劑厚度降低30-40%。這反過來有助於提高光刻工藝的效率和準確性。2）口罩對齊器：這是用來控制口罩的，它作為曝光過程的模具。掩碼對齊器允許掩碼與抗蝕劑精確對齊,並有助於確保實現所需的模式。3）擴散器/光束成形光學器件：這種組件有助於在光束送入抵抗室之前對其進行成形。通過正確塑造光束，可以幫助產生更高分辨率的圖案。4）波形生成器：此組件負責控制抵抗室中的光學設置。它用於編程抗蝕劑將暴露於的參數，如波形、頻率、脈沖寬度等。5）模式發生器：該組件負責生成將用於在抗蝕劑中創建所需模式的模式。6）監控機：此組件負責確保刀具中的所有組件正常工作,並確保抗蝕室內部的條件最適合產生高質量的圖樣。TOKYO ELECTRON Lithius是實現精確光刻工藝的先進可靠資產。廣泛用於生產半導體制造、醫療器械等高科技部件。該模型設計方便，為用戶提供可靠的結果和出色的分辨率。