二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397193 待售
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單擊可縮放
ID: 9397193
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
System, 12"
Material / Chemical:
PR, HMDS, Thinner, DEV
ArF Sub-process
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL Lithius load ports
(1) TEL Lithius loader arm
(5) TEL Lithius transfer robot arms
Process module:
Chamber
Pump
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
Chemical box
ETC
Parts and tool
Module:
(8) PM1 Soft bakes
(4) PM2 ARC bakes
(8) PM3 PEB
(3) PM4 Hard bakes
(3) PM5 ADH
(5) PM6 COT
(5) PM7 DEV
(1) PM8 WEE
PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater (Range of temperature): High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Missing parts:
S/V ADH256 Chamber coat error
DEV303 AOV Bath rinse
DEV303 AOV Firm rinse
IRAS R-Axis driver
Port clamp cylinder
COT201, COT203 Spin chuck
LHP Temperature board
Mapping arm assembly
WEE Fan
L-Arm Z-motor
IRAS Z-Driver
IRAS Y-Driver
IRAS X-Driver
IRAS X-motor
UPS Battery swap
Control power supply swap
EC Controller swap
CRA Cover, ITL Switch
Ejector
Y-Driver
X5 Cable
DEV 301 Spain I/O Board
(2) Borads, COT MTR
4-Ports assembly
Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光致抗蝕劑設備，用於多種制造工藝。光致抗蝕劑系統用於制備和加工用於進一步加工或制造步驟的基板。TEL Lithius是由技術解決方案提供商TEL制造的下一代光刻膠系統。該單元允許客戶在幾個步驟中開發一個抵抗過程。它可以提供精確的圖樣控制，同時提高高分辨率微光刻的分辨率和焦點深度。該機在各種光刻工藝中都能提高工藝吞吐量，提高產量。TOKYO ELECTRON Lithius能夠進行先進的光刻技術，如薄膜成像、深紫外光刻和原子束光刻。它還支持photopatterning，一種使用單個掩碼在單個晶圓上繪制高分辨率圖樣的技術。該工具采用了幾種先進的技術，包括電子束源、固體浸沒透鏡、可變數值光圈和集成物鏡。這種技術的結合使資產能夠產生比其他光刻技術更高的分辨率和更精細的圖案。該模型設計為易於使用和操作，允許客戶選擇可以快速更改的參數或配方來調整流程。這些設備為客戶提供了一定程度的靈活性,可以根據他們的特定需求進行定制。該系統提供了增強的薄膜厚度控制、更大的光束電流包絡以及改進的基板材料性能。這些功能為客戶提供了更好的吞吐量和準確的陣列設計結果。鋰是芯片制造商和其他制造應用的理想選擇，如有機光伏模塊、高密度互連、微流體和先進基板。該單元可用於多種工藝，包括植入、圖樣制作、幹蝕刻和濕蝕刻。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款功能強大、用途廣泛的光刻機，旨在簡化和改進光刻工藝。它是尋求具有更高吞吐量和更高產量的高級工具的客戶的理想解決方案。
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