二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithus #9290887 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithus是一種光致抗蝕劑設備，設計用於在制造納米級結構時實現高清光刻。該系統的分辨率高達10納米,非常適合大型集成電路（LSI）生產以及納米研發應用。該單元由一臺機器組成，該機器使用光學透鏡通過覆蓋基板的光刻膠薄膜投射光。該工具經過校準，可以將光引導到一個特定的角度，從而形成一個照明光刻膠的圖案。光致抗蝕劑是一種光敏材料，當暴露在光線下時反應不同。通過改變光致抗蝕劑的組成和暴露，可以控制將在基材上制成的圖樣的化學性質。資產可以通過一系列高級功能進行進一步調整，包括能夠控制光線強度、鏡頭傾斜，甚至從外部源生成圖樣。這些功能使用戶能夠根據需要創建更精確的模式。該模型進一步配備了電動基板調節階段，也可用於優化基板以獲得最佳分辨率。TEL Lithus設備還提供了自動化的基板定位系統，幫助監控曝光過程中基板放置的準確性。這允許用戶實現精確對準納米公差。該單元進一步設計為具有較高的吞吐量速率，具有自動處理能力，使用戶能夠批量處理大量基板。此外，機器可以用來監視它生成的模式的質量，同時提供一個用戶友好的界面，以便於操作。用戶可以快速設置進程參數,並且該工具能夠根據所需的結果在操作過程中自動調整設置。再者，照射過程之後的FRAP（光漂白後熒光回收）和EELS（電子能量損失光譜）等先進分析也可以利用資產進行。總體而言，TOKYO ELECTRON Lithus模型是一種先進的光刻設備，設計用於創建納米級應用的高清模式。其先進的功能和自動化的能力相結合，使該系統在創建高精度的光掩模和生產高質量的納米結構方面具有極高的精度。