二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5 #9394083 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5光抗蝕劑設備是半導體制造工藝的關鍵組成部分，其主要應用集中在發展細螺距光學圖樣和高度密集的互連。TEL Mark 5支持針對廣泛基板開發抗蝕劑圖像，允許優化光學圖樣圖像。系統由曝光單元和控制臺兩部分組成。曝光機由一個光學臺及其集成的鏡面板、燈殼和鏡座以及掃描工具組成。光學臺為光學資產提供了一個平坦穩定的平臺。鏡面板配置高精度，使來自激光源的激光束從鏡面板完全反射，然後直接暴露基板的中心。燈殼為激光和鏡頭卡口的操作提供了最佳環境，而鏡頭卡口則確保了鏡頭曝光過程所需的最佳位置。掃描模型包括激光源、反射鏡和鍍鋅鏡。激光源能夠發射各種波長，光束均勻性、亮度和精度都很好。反射鏡產生一系列掃描線，使基板能夠精確對齊，而鍍鋅鏡則負責提高吞吐量速度。控制臺單元作為TOKYO ELECTRON MARK 5光刻設備的引擎。它配備了溫度控制和安全監控器，這是了解和控制過程參數所必需的。它還配備了嵌入式、用戶友好的圖形用戶界面（GUI），可輕松訪問系統設置，可以對其進行優化以滿足客戶需求。此外，控制臺采用可編程邏輯控制器（PLC），對各種單元參數進行自動閉環控制。綜上所述，Mark 5光刻機是一種開發高精度光學圖樣的通用工具。它具有復雜的曝光資產和強大的控制控制臺,能夠優化各種參數。憑借先進的特性和可靠的性能，TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5是當今半導體制造商的首選車型。