二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5z #9222497 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5z是一款先進的光阻設備，用於半導體制造的開發、轉移、蝕刻和分析過程。該系統為介電層、金屬層和光刻層提供光刻功能。它配備了一個先進的5倍光學變焦裝置，能夠精確定位具有高精度的光刻特性。該機進一步配備了紫外線曝光模塊和高精度、高通量應用快速曝光時間的紫外線步進器。該工具使用高分辨率掃描資產進行圖像識別，並能以低噪聲快速獲取圖像。它還具有預先對準、自動傾斜和自動晶片到晶片對準的功能,以精確定位特征。TEL Mark 5z的交付成果超過了目前半導體光刻工藝的需求。它通過集成的圖像測量功能提供了一個具有優化精度的平穩操作流程，以實現完整的圖像精度。該模型還配備了自動聚焦調節機制，以確保即使在環境條件發生變化的情況下，也能保持在光刻膠層的「對準目標」。在安全方面TOKYO ELECTRON MARK 5z是為安全使用而設計的，有多個安全級別可以調整以適應特定的需求和條件。設備采用帶有密封門的特殊抗振結構，在操作過程中保護使用者和設備，防止環境汙染進入腔室或標線區域。該系統還提供空氣凈化單元、紫外線不透明度傳感器、離子註射機等環境保護功能，確保光刻膠層清潔安全運行。最後,Mark 5z提供了一個全面的用戶界面工具,具有多種功能,可方便地對模式進行編程和監視操作參數。它還具有網絡功能,允許用戶從遠程位置遠程訪問機器條件、操作參數和模式編程信息。總之，TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5z是一種先進的光刻膠資產，為介電、金屬和光刻膠層應用提供了最大的精度、準確性和安全性。利用其UV曝光模塊和UV步進器可輕松處理高吞吐量應用,並通過其集成的圖像測量功能,能夠以優化的精度平穩運行,實現完整的圖像精度。此外，該模型以其多重安全等級和環境保護功能確保安全運行，並配備了全面的用戶界面設備和聯網能力，用於遠程訪問機器狀態、操作參數和模式編程信息。