二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819130 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款光刻設備，設計用於在電子電路上解析細線寬、狹窄空間和高分辨率圖樣。該系統包括一個強大的光束成形單元、光束偏轉和測量系統、激光光學和光學元件、掃描鏡以及用於精確定位的運動控制系統。此外，先進的自動化和過程控制系統確保精確的操作和可靠的生產，以滿足下一代半導體器件的需求。TEL MARK7內的光束開發機具有一系列的大功率激光二極管，以產生經過調整和精心塑造的輸出，用於圖樣設計。利用可調節的直流註入垂直尺度激光二極管陣列和可調節的激光二極管偏置電流，可以對光束進行精細聚焦和振幅衰減。然後可以用圓柱形透鏡的三眼工具進一步調諧輸出，由步進式和高性能位置控制器控制。這些元件可以精確地形成聚焦的二維光束，具有狹窄的線寬和高度精確的光束放置。為優化光束的產生和偏轉,設計了設備內的激光光學器件.針對均勻照明、低失真、大範圍掃描等問題對光路布局進行了優化。高性能反射鏡用於提高梁的偏轉速度,使其能夠快速移動到所需的位置。此外，高精度的角鏡允許廣泛的光束方向，同時保持精度。TOKYO ELECTRON的掃描和運動控制系統MARK-7提供精確、低噪聲的光束掃描，以產生所需的圖樣。對一系列高性能伺服電機進行了精確運動同步，其運動控制器能夠提供高速采樣和精細分辨率控制。該模型能夠將光束精確定位在光致抗蝕劑上所需的焦點、速度和強度。最後，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7內的過程控制系統被設計為能夠高度的生產可靠性，以滿足下一代半導體器件的需求。軟件控制的光刻膠和工藝過程可實現免維護操作。它配備了一個反饋設備，以防止光致抗蝕劑汙染，還設有一個反饋電路，以確保光阻精度。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7光致抗蝕劑系統是一個強大的單元，能夠提供線寬狹窄、空間狹窄、照明均勻的高分辨率圖像。其強大的光束成型機、光束偏轉和測量系統、激光光學、掃描鏡和運動控制器，以及先進的自動化和控制系統確保了精確的操作和可靠的生產。