二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9026273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款具有先進功能的光阻設備，旨在滿足半導體行業最尖端的需求。TEL MARK7提供受控準直照明（CCI）、高級統一控制（AUC）和模式生成功能。TOKYO ELECTRON MARK-7的受控準直照明（Controlled Collimated Illumination，CCI）系統在較大的光刻區域提供最一致的照明圖樣來源。它通過保持均勻性和減少有較少缺陷的圖樣計數來幫助改善器件的光刻工藝。獨特的可變照明角度、激光對準單元、自動準直器對準（ACA）等特點提供了機器最精確、最可重復的設置。TEL Mark 7的Advanced Uniformity Control （AUC）機器消除了手動對齊的需要。它確保了光敏過程中最均勻的光模式，從而提高了屈服率和器件性能。TOKYO ELECTRON MARK7還包括先進的模式生成功能,使光刻膠生成能夠輕松呈現復雜的形狀和模式。圖樣旋轉、突出和鏡像等特性使得TEL/TOKYO ELECTRON MARK7一種強大的設備光刻工具。其他特性如用於精細曝光比控制的曝光步長控制、用於減少反射模式和增強對比度的偏振照明也可以在Mark 7中找到。所有這些功能使TEL MARK-7能夠為設備光刻提供更大的靈活性和性能。它還提供各種分析工具，如用於檢測缺陷的圖像處理模塊，以及用於監測光刻膠工藝質量的視頻檢查模塊（VIM）。總而言之,MARK-7是一種高度先進的光刻工具,它提供了最準確、最可重復的設置、最佳質量的圖樣和更低的圖樣計數,並減少了缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON的先進特性、卓越的設備和優異的性能MARK-7使其成為器件光刻的理想選擇。