二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9092964 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑設備是一種先進的光刻系統,用於集成電路的制造。它使工程師能夠在電路設計上獲得卓越的精度和產量,使其成為芯片制造的理想工具。TEL MARK7是一個全自動單元,具有165毫米步進器,可在半導體晶片表面上精確曝光光刻塗層。它配備了一個標線級,也可以用於標線的精確對準。該機器能夠在1:1的再現中達到10納米(nm)的精度公差。TOKYO ELECTRON MARK-7工具還具有先進的處理選項,如噴塗、紡紗、噴射和浸漬,以及一套晶圓檢測系統。所有這些系統為工程師提供了對其工藝的卓越控制以及在制造過程中檢查零件的能力。資產通過控制抵抗暴露的模型得到進一步增強。曝光時間和劑量可以精確控制,讓工程師們實現所期望的抵抗發展而不變。TEL Mark 7具有嵌入式制造執行設備(MES),可用於存檔重要數據,如配方、晶圓映射、缺陷度量等。該系統通過網絡功能得到進一步加強,使其他系統和網絡之間能夠通信。簡而言之,TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Unit是一臺高度先進的光刻機,為工程師在制造集成電路時提供高精度和重復性。其特性和功能的結合使其成為滿足芯片制造需求的理想工具。
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