二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098200 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是在半導體製造業中作為必要裝備的光刻膠設備。該系統允許光刻過程,從而能夠在微觀尺度上創建結構。TEL MARK7是一個集成的光致抗蝕劑單元,意味著它有多個組件,它們都相互集成形成一個實體。其中一些成分包括光致抗蝕劑自旋、晶圓傳輸和工藝室。光致抗蝕劑自旋將溶劑、光致抗蝕劑或化學物質施加到半導體晶圓表面上,以實現光刻過程。晶圓再由晶圓傳輸到加工室,在那裏受到紫外線輻射。通過這個過程,形成了光刻圖案。TOKYO ELECTRON MARK-7集成了沖洗和自旋幹燥模塊,以便在光刻過程後輕松清洗半導體晶圓。這包括兩個步驟:沖洗和自旋幹燥。沖洗模塊清除晶片中的所有化學物質和材料,而自旋幹燥模塊清除任何多余的殘留物或液體。此外,TEL Mark 7還具有多種內置功能,可確保它能夠執行各種不同的光刻過程。這包括能夠用化學材料蝕刻晶片的不同區域,控制工藝參數,自動化圖樣,並在光刻過程進行時提供精確的晶片定位。總體而言,TOKYO ELECTRON Mark 7是制造半導體元件的有效可靠的光刻機。其集成的光刻膠組件在一個單元中促進了完整的光刻工藝,包括沖洗模塊和自旋幹燥模塊,從而提供了最大的效率。此外,此工具還提供各種內置功能,可增強光刻工藝,最終使產品質量更高。
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