二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098207 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑設備是一種編程設備,主要用於半導體制造過程,使用戶能夠精確地在晶片上開發精確形狀和尺寸的光致抗蝕劑材料。該系統非常適合生產精細的集成電路。TEL MARK7由優化的數據處理單元驅動,該單元具有高速CCD圖像捕獲設備,該設備僅需幾秒鐘即可從晶圓邏輯層讀取數據。然後將數據發送到中央控制器單元,該單元處理並向機器人控制器發送指令。這樣就能夠以高度精確的方式快速加工材料。從CCD相機獲取的數據以及用戶定義的參數用於生成光刻膠顯影模式。然後,機器人控制器根據生成的指令對晶片進行建模。結果是符合用戶提供的確切規格的高精度光敏塗層。TOKYO ELECTRON MARK-7還提供高級功能,如脈沖激光強度控制、高級冷卻控制,以及不斷觀察和評估光刻塗層質量的現場監視器。這些功能確保了在廣泛的光掩模處理操作中的最高精度和精確度。TEL MARK-7能夠每小時處理多達180個晶圓,而且非常方便用戶使用,使操作員能夠快速輕松地配置機器設置。此外,該機采用雙負載鎖定機,可以安全引導晶片從負載端口進入處理室,不會出現錯誤的風險。總體而言,TOKYO ELECTRON MARK7光刻工具是一款功能強大、功能廣泛的設備,非常適合生產精細的集成電路。其自動化的數據采集、處理和開發特點,加上高處理速度,使其成為光刻材料晶片批量處理的理想選擇。
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