二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098210 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是TEL公司開發的一種最先進的光電抗蝕劑設備，其設計目的是提高抗蝕劑成像的精度和能力。它是一個多任務平臺，可以支持兩個獨立的光阻過程和四組獨立的架空門架，允許同時多次曝光同一塊石英板或光學和數字格式的多塊板，同時也提供處理具有挑戰性底物的能力。TEL MARK7有兩個主要組件-光刻室和離軸曝光系統。光刻室是一個清潔室，配備了最先進的控制，以最大限度地提高吞吐量和精度。它包括一個超高真空（UHV）單元，可以在腔內產生真空，使抗蝕劑在沒有任何空氣的情況下暴露出來。腔室還有一個反應性等離子體源，有助於改善抗蝕劑在暴露前對基板的附著力。曝光機是一種高分辨率的工具，能夠精確地成像晶圓上的特征，具有極高的精度。它具有離軸光源，無論基板的方向或厚度如何，都能將圖樣精確聚焦到晶圓基板上。這種離軸資產對於成像三維結構尤為重要。曝光模型還具有高級控制功能,可幫助確保曝光過程高效一致,高速電機控制可精確移動口罩,以及自動失真、尺寸和放置測量,以確保準確曝光。此外,設備還具有直觀的用戶界面,可提供診斷、過程監控和故障檢測功能。TOKYO ELECTRON MARK-7是一個創新的系統，提供卓越的成像能力和性能，以及提高產量，吞吐量，和單位正常運行時間。由於其高吞吐量和靈活性,它還有助於降低成本和縮短上市時間。這臺光刻機是制造高端電子產品的理想工具,它提供了跟上行業趨勢和需求所需的可靠性和性能。