二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9119206 待售
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單擊可縮放
ID: 9119206
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Track system, 6"
Left to right for 8"
Indexer: (4) cassette stage (uni-cassette)
Configuration:
Main body
IF
Chemical cabinet 1
Chemical cabinet 2
THC
PC rack
Main controller: NEC FC-9801F
C/S Robot type: vacuum arm, ceramic pincette
Main robot type: 3 pincette arm
Indexer: laser diode mapping sensor
COAT:
(4) Resist nozzles / bellows pumps
(1) Gallon resist bottle / thinner local supply (canister)
EBR nozzle / back rinse nozzle
Local drain (1st SUS 10L tank/drain pump)
DEV:
Nozzle type: E2
Rinse nozzle / back rinse nozzle
Local supply / facility drain
WEE:
TEL Standard
UL-200T-L1 UV Light source
AD:
TEL Standard
Local supply
Currently warehoused
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是用於半導體器件生產的光刻工藝中的光刻設備。它通過激光技術清除過程中產生的廢光，同時控制基板表面的光學條件。TEL MARK7使用633nm或635nm激光波長作為激光光源,並結合可調節的狹縫和振蕩光學器件。該系統包含一個反射器和光學濾波器組件，可以根據激光束的強度和傾斜度進行調整。它還包含一個能夠精確控制基板曝光周期的高精度快門。TOKYO ELECTRON MARK-7還有一個內置的光刻膠分配裝置，可以以一致的速率分配光刻膠材料，而不會有霧或滴落。該機器的設計目的是盡量減少環境汙染和減少背景幹擾。它能夠通過設置多個參數如狹縫角和激光功率來實現高精度的表面結果。該工具具有1 μ m的極其精確的空間分辨率,能夠在各種基板表面上產生高質量的結果。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7是一種極具效率的資產，具有高精度的控制，是制造半導體器件的理想選擇。由於結構堅固，它非常可靠，壽命長。該型號也可以輕松設置，極具人性化。總體而言，MARK-7是用於制造半導體器件的先進光刻設備。由於其激光技術和可調節的狹縫和振蕩光學，它能夠提供高度精確的結果。它具有很高的可靠性和用戶友好性，使其成為生產極高品質基材的理想選擇。
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