二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9214147 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一種用於半導體器件制造光刻步驟的光刻設備。該系統由光敏紡紗單元、多點曝光站、自動熱防護單元組成。光敏旋轉單元用於以精確控制的速度旋轉光敏塗層的晶片，以便在晶片上實現均勻的自旋速率。多點曝光站采用多點激光束同時曝光光刻塗層晶片，不需要傳統的掩模對準技術，從而提高了吞吐量水平。此外，曝光站還配備了一個對準單元，利用激光和照相機精確聚焦和對準晶片上曝光圖像的圖樣。最後，自動熱保護單元是一種集成的熱控機，用於防止晶片在抗紡紗和曝光過程中過熱。在操作中,TEL MARK7從光敏紡絲單元開始.光致抗蝕劑旋轉到晶片上後，多點曝光站照亮晶片，以便將所需的特征蝕刻到抗蝕劑中。對曝光站的對準工具進行了校準，以快速準確地將曝光罩對準每個單獨的晶片，從而實現快速處理速率。最後，自動熱保護單元監控晶片的溫度，以確保光刻膠在整個過程中的最大熱保護。總體而言，TOKYO ELECTRON MARK-7是一種強大而可靠的光刻資產，使半導體制造商能夠快速準確地加工晶片，同時在制造過程中為光刻膠提供最高水平的熱保護。MARK7具有先進的激光曝光機理和精確對準模型，是滿足現代半導體器件制造高通量、高精度要求的理想解決方案。