二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216078 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是生產半導體器件時光刻使用的先進光刻設備。該系統集成了最先進的分辨率光阻工具和先進的成像光學器件，提供卓越的晶圓成像性能和分辨率。TEL MARK7單元是處理亞微米級光刻應用的理想設備。光致抗蝕劑機包括專用的光致抗蝕劑處理器，用於在晶片表面塗抹均勻、精確的光致抗蝕劑薄膜。它還包括一種精密成像光學工具，用於以納米分辨率將光刻膠成像到晶圓表面上。成像光學器件包括高分辨率物鏡，在晶圓表面上提供卓越的衍射受限圖像質量。它還包括一個機器人龍門資產，用於精確定位光學器件並提供晶圓表面的自動掃描。光刻膠模型由計算機控制，使用戶能夠對成像參數進行編程以獲得所需的晶圓圖樣。該設備與各種流行的光刻曝光技術兼容，包括光學步進器、旋轉/傾角塗層和洪水曝光。它還允許用戶處理大小各異的晶片，例如大或小基板格式。TOKYO ELECTRON MARK-7光刻膠系統配置了先進的氣體射流單元，用於在加工過程中將光刻膠材料轉移到晶片上。這種噴氣機有助於在加工過程中保持晶片表面的均勻阻抗覆蓋。此外，該工具還包括一個防反射塗層模塊，有助於在成像過程中減少來自晶圓表面的光反射。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7光致抗蝕劑資產配備了溫度控制模型，使用戶能夠在成像過程中調節光刻光學器件的溫度。它還包括一個清潔模塊，用於在成像後從晶片表面清潔抗蝕劑材料。總體而言，MARK-7是一種先進的光刻設備，能夠滿足用戶的光刻成像需求。它提供卓越的分辨率成像和廣泛的高級功能,使用戶能夠高效生產高質量的半導體器件。