二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216894 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光刻設備是一種精密光刻設備，用於半導體和光電生產過程。該系統在制造具有超小型特性的設備時實現了世界級的亞微米精度。該單元采用高保真投影儀來精確地曝光光刻層。這些先進的投影機配備了光學菱形棱鏡（ORP）鏡頭陣列，可以精確聚焦圖像，同時不斷校正鏡頭像差產生的失真和效果。ORP鏡頭陣列還提供了圖像尺寸的4倍減小,從而實現了精確的0.25 um功能打印。使用先進的曝光控制反饋回路工具進一步增強了TEL MARK7機器。這樣就可以對芯片設計的每個子領域的曝光進行微觀調整。這提供了一種可重復和高精度的曝光工藝，對於納米級制造至關重要。TOKYO ELECTRON MARK-7擁有一個專有的特征-遵循光對齊器資產，以確保芯片的圖像在光刻膠層保持精確聚焦。這在打印超小型特征（如尺寸<0.20 um的特征）時尤為重要。還設計了TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7模型，以減少環境影響，保持非常清潔的工作環境。它有一個內置的幹氣循環和過濾設備來清除空氣中的汙染物、灰塵和微粒，以避免汙染。TOKYO ELECTRON MARK7還有一個真空減排系統，以減少揮發性有機化合物和其他在光刻過程中的蒸氣排放。最後,MARK7單元設計方便維護和維修,可靠性高,可減少停機時間並方便全天候生產。它有一個正常的調度程序，允許用戶在不中斷生產的情況下進行維護檢查和預防性維護。TEL Mark 7是一款精密平版印刷機，能在低環境影響和可靠環境下產生高保真度、準確性和可重復性的超小型特性。這使得它成為半導體和光電生產的絕佳選擇。