二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235085 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是為微電子和其他需要精密光刻的應用而設計的光刻設備。它提供了一個可靠、高質量的抗蝕劑沈積和暴露過程，具有現代化、用戶友好的界面。TEL MARK7光致抗蝕劑系統具有獨特的垂直照明器設計，能夠更好地調節接觸印刷，並為光致抗蝕劑沈積提供優化的光均勻性。該單元配備了一個7英寸準直鏡，允許使用緊密的CD控制對亞微米特征尺寸進行非常精確的處理。自動對齊機器允許圖像具有高精度和均勻性在大型生產晶片。該工具由Prebake視覺平臺、Safety blast室和Resist平臺組成。Prebake平臺用於烘烤和預烤過程。它配有預烤烤箱和熱電偶警報資產，在達到目標溫度時發出警報。安全爆破室通過確保抗蝕劑和基板在暴露過程中始終受到保護，有助於提高晶片通量。抗蝕劑平臺為高產結果提供了精確的抗蝕劑沈積和暴露。TOKYO ELECTRON MARK-7光刻膠型號配備了高性能控制器，提供可靠的操作。其高級圖形用戶界面（GUI）允許清晰直觀的導航,並允許操作員快速設置和查看作業。該設備包括一個先進的安全系統，該系統限制了對敏感地區和數據的訪問。TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑單元在廣泛的微電子等應用中確保最大安全方便。它配備了多種功能來支持清潔環境中的操作。該機器還具有先進的環境監控功能，允許用戶實時監控環境。它具有符合能源之星標準的電源,可降低能耗並有助於經濟高效的運行。