二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235179 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款先進的光致抗蝕劑設備，可實現快速、精確的抗蝕劑處理。它是一個完全自動化的閉環系統，在一個步驟中控制抗蝕劑的分配、暴露和烘烤。TEL MARK7還提供了廣泛的曝光和清理參數，以適應各種抗蝕劑處理應用。TOKYO ELECTRON MARK-7配備了專為光刻膠應用而設計的校準式配電器（CD）。它有一個可調的分配噴嘴，以確保均勻和可重復的光敏劑劑量。分配頭也能控制溫度和壓力。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7提供紫外線曝光單元和無影曝光單元。它結合了先進的氣刀機，使開發區域保持清潔，從而減少了開發時間，提高了精度。TOKYO ELECTRON MARK7也有內置的過程算法，為不同的過程提供準確的曝光時間，如HF或UV曝光。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7還具有主動熱控制工具（AHCS）。該資產使用PID控制器精確控制加熱元件。它還提供了多個溫度配置文件的選擇,允許用戶為其特定應用程序選擇最佳溫度配置文件。此外，TEL MARK-7提供了一個獨立的超壓模型，可確保在曝光過程中光刻膠受到均勻的壓力。TEL Mark 7還有一個自動抵抗清理模塊。該模塊使用集成噴嘴設備清潔基板上剩余的抗蝕劑。清潔劑在不留下痕跡的情況下，從整個基板表面去除了光致抗蝕劑。MARK7能夠處理厚度不超過4mm的基板,基板尺寸不超過200 mm x 300 mm。它一次最多可處理12個基板，手動加載。MARK-7的效率和準確性使其成為廣泛應用的理想光敏處理系統。