二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9237076 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑設備是一種創新的聚合物薄膜沈積蝕刻系統，用於制造先進的電子器件。這個先進的單元能夠創建亞微米線模式。該技術基於化學溶液和等離子體蝕刻工藝的組合，組合形成單個薄膜沈積機。該技術由兩個階段的步驟和重復過程組成，在該過程中，將抗蝕劑溶液應用於基材。第一階段是圖樣化步驟，其中光掩模對齊並暴露在基板上。這種曝光會在抗蝕劑膜中產生所需的模式。第二階段涉及一個蝕刻步驟，其中使用等離子體蝕刻在抗蝕劑膜中創建所需的特征。此過程完成了從蒙版到基板的模式傳輸。TEL MARK7光致抗蝕劑工具比傳統的制圖工藝有許多優勢,包括更高的分辨率和更精細的特征大小功能。它還可以提供更高的吞吐量速率,以及提高準確性和穩定性。該過程還具有足夠的通用性,可以進行返工和可調節的特征尺寸。資產還提供了一個自動化的過程,包括晶圓處理、對齊和焦點調整。這種自動化有助於降低人力成本並提高流程的可重復性。它還提高了流程的效率，允許更快的周轉時間。這些優點加上該型號的高分辨率和特征尺寸功能,使TOKYO ELECTRON MARK-7成為高精度陣列制作過程中非常可靠和搶手的解決方案。該設備已廣泛應用於半導體工業先進半導體和光電器件的生產。