二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239616 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）開發的光阻設備。它是一種用於制造半導體集成電路的光刻和制圖工藝的抗蝕劑開發處理器。此抗蝕劑處理系統基於模塊化設計,由抗蝕劑塗層、顯影劑、剝離器和烘幹機/烤箱組成。抗蝕劑塗層用於在基板上應用光致抗蝕劑。它可以精確控制塗層重量和厚度，也便於在基板上應用抗反射塗層。顯影劑用於有選擇地從基板上的非圖像區域中移除抗蝕劑材料。它利用高壓氣溶膠技術，使光致抗蝕劑的快速去除在基板上產生錯綜復雜的圖樣。剝離器是一個單獨的單元，用於去除任何殘留的光致抗蝕劑。它能夠去除基板上高達99.5%的厚抗蝕膜。烘幹機/烤箱用於加熱基材並去除任何殘留的溶劑和其他汙染物。它可以一次加工多達四個直徑達200毫米的基板。它具有高達250°C的加熱能力，利用空氣設計最大限度地減少基板變形。TEL MARK7包含多種傳感器，以確保基板被精確加熱和處理。TOKYO ELECTRON MARK-7還具有直觀、用戶友好的圖形界面以及各種定制配方和過程協議。它提供了一系列的統計過程控制（SPC）功能，以確保基板以最高的精度和可重復性進行處理。該機適用於幾種材料的清潔、密封、防反射塗層，包括石英、矽、鋁、銅。MARK-7是為光刻工藝創建的高效可靠的抗蝕劑開發工具。TOKYO ELECTRON MARK 7以其模塊化的設計和廣泛的工藝能力，提供了制造集成電路的理想平臺。