二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239698 待售
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ID: 9239698
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是為了優化多層半導體製造工藝的精確度、速度和產率而設計的最先進的光刻石設備。它利用先進的投影成像和拍打光子技術，以不到一微米的分辨率實現鋁蝕刻。該系統通過利用高分辨率光學器件將光刻膠層向下暴露在基板上，可以處理不同厚度的多層。曝光過程使用兩束不同波長的激光束，一束用於各向同性，另一束用於各向異性燒蝕。該單元配置了改進的層厚度控制,從而提高了圖案精度和蝕刻表面質量。它在運行過程中還具有無粒子的環境，以確保介電的完整性和消除任何汙染的機會。此外,TEL MARK7還配備了專用遠程管理機器,以實現最佳控制和監督。這允許用戶實時監視、優化和調整機器設置,從而減少了對手動流程的需求。該工具還可以實現自動化，以更快、更精確的方式在各個過程中移動。最後,TOKYO ELECTRON MARK-7與客戶現有的數據庫基礎架構集成,以最小的停機時間提供快速、可重復的光刻膠操作。TEL MARK-7為集成電路芯片的高精度、高產制造提供了理想的解決方案。它具有緊湊的設計、低運營成本、過程控制保護以及嚴格的質量控制等特點。最新的投影成像和拍打光子技術結合自動化控制，使得TEL Mark 7成為市場上首屈一指的光阻資產。憑借其改進的層厚控制、無顆粒環境和自動化工藝管理，Mark 7是最高級別光刻膠應用的理想選擇。
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