二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239700 待售
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ID: 9239700
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Left
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款為電子束光刻而設計的光刻設備，開發用於協助制造集成電路，以及其他微電子元件。該系統包括一個專門的束偏轉單元，通過在有限的區域輸送高能電子來精確地暴露底物。這提供了比傳統曝光技術更本地化和更強的電壓配置文件，允許改進模式控制。TEL MARK7包含一個具有聚焦線圈的高級離子源，這保證了光束集中到一個小的斑點大小，減少了雜散電子的機會，並將有效電壓分散在一個小區域上。此外，該機采用了專門設計的電子偏轉器，以增強特征定義和沈積控制的方式進行全面積掃描。結合起來，這些元件能夠快速電子束處理，具有低至0.1微米的高特征分辨率。此外，TOKYO ELECTRON MARK-7有一個可編程的等離子體源和溫度控制，允許將熱活化的光致抗蝕劑或其他EPIL材料精確地輸送到感興趣的領域。這確保了即使電子束需要在多次曝光上施加能量時基板的均勻覆蓋。最後，TEL Mark 7工具配備了集成光學顯微鏡資產，用於檢查暴露的基板。這樣可以消除盲點,並確保處理準確。此外,還使用了自動級對準模型,以確保光束始終不聚焦並遠離正在檢查的零件,從而使其使用更加安全。MARK-7是業界領先的電子束光刻光刻光刻設備，為微電子元件的加工提供精度和安全性。
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