二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239701 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9239701
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光刻設備是為半導體制造工藝設計的高科技光刻系統。TEL MARK7單元能夠以極精確的分辨率對各種光刻膠進行制圖和曝光，並被用於半導體制造的幾個高級階段。TOKYO ELECTRON MARK-7機的中心是ALTUS Exposure工具，它提供了激光和鹵素燈的選擇，以暴露不同類型和靈敏度的光刻劑。還包括更廣泛的高分辨率對準和檢查能力。ALTUS Exposure資產的開環軟件允許對多達256層的各種類型的光刻膠進行制圖。該模型可根據所使用的光刻膠類型精確定義和調整曝光邊界。利用此功能,可以更改和優化每一層的曝光時間。ALTUS分辨率陣列技術可確保每個特征的精確放置,同時提供盡可能高的分辨率。Mark 7設備還能夠使用BEAMER（高分辨率電子束成像）進行ECRIS（增強臨界分辨率成像系統）成像。MARK-7單元中的高級缺陷檢測功能由TELECISAS（高級檢測和模擬TELETron™機）提供。TELECISAS功能包括最先進的漸進式缺陷檢測算法和一個包含質量控制信息的綜合數據庫。除了MARK7工具的高精度曝光功能外,其數據和材料管理功能同樣令人印象深刻。所有基本信息都是數據驅動的,因此易於控制生產過程。利用智能數據挖掘和分析對信息進行監測和收集。材料管理資產涵蓋流程的方方面面，從原材料到成品，並允許進行詳細的庫存和訂貨控制。TEL Mark 7模型是一種高度先進的光刻解決方案，能夠提供高分辨率、精確度和質量控制。它旨在促進引進先進的半導體制造工藝，同時限制開支和提高生產率。
還沒有評論