二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9242345 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款下一代光阻設備，能夠提供超精確、超快速、低成本的光刻技術，以實現高性能的集成電路模式和晶圓處理。TEL MARK7系統旨在支持先進的電路設計和最先進的處理技術,以滿足當今要求苛刻的半導體制造需求。TOKYO ELECTRON MARK-7利用最新的漫射照明技術，提供超銳利、精確的圖案和正面對準。該單元配備了高性能激光幹涉儀，以確保掩模和晶圓在整個過程中的超精確對準。使用TOKYO ELECTRON MARK7,即使是最難制圖的掩模也能以優異的性能一致生成。該機還采用了高精度、高速的制圖工具，以縮短曝光時間。MARK-7具有內置的Collimator透鏡,可產生更大的焦深,以最大程度地減少模式不對準。TEL MARK-7還包括用於精確曝光後計量和調整的自動計量和調整資產（AMAS）。該模型提供精確的晶圓定位和對準，以盡量減少底切和過度蝕刻。AMAS還通過使用快速掃描光學器件簡化了曝光過程中的模式檢查和缺陷檢測。設備還包括各種功能，以加強過程控制和降低維護成本。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7擁有一個功能強大的軟件工作站MAGIC （TEL Mark 7 Graphical Interface Control, TEL Mark 7 Graphical Control）軟件,可簡化操作並實現更簡單、更快速的設備設置。此外,系統還內置了控制和攝像頭,可監控整個過程,提高過程穩定性,減少顆粒引起缺陷的發生率,並提供快速反饋信息。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7單元旨在為最新集成電路提供精確、快速、經濟高效的光刻膠處理。Mark 7憑借其先進的照明、正面對準機、自動計量和對準工具以及MAGIC軟件，能夠生產出具有高維精度和均勻性的世界級設備圖樣。