二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244864 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款用於光掩模製造工業的全自動處理設備。該系統采用高度先進的技術,能夠以最短的曝光時間實現精確的陣列設計結果。其自成一體的激光燒蝕單元和電子板提供了一套全面的功能。該單元的集成設計確保了簡單的操作和維護。TEL MARK7使用全自動蒙版選擇器來選擇適合所需打印模式的最佳曝光性能參數。這樣可以確保為卓越的圖像處理提供精確的掩模準備。該機的特色是其專有的膜腐蝕層去除子系統。這一特性允許快速、高效地燒蝕光刻和蝕刻。腐蝕層去除子系統是實現全電腦化掩模制造的最有效技術之一。TOKYO ELECTRON MARK-7的膜對膜曝光模式消除了晶圓或種子層在曝光過程中的任何運動。這是通過「斜坡」曝光過程實現的，在該過程中，曝光時間上下傾斜，以控制強度並形成統一的曝光覆蓋範圍。這意味著在基板的後續層中不會有任何差異地暴露掩模模式。該工具的高精度晶圓機械手確保激光模塊的精確聚焦和對準。激光用於精確修改和塑造基板中可能存在的任何殘留表面缺陷或劃痕。晶圓機械手還確保激光運動的可控性和精確度足以暴露和發展光滑邊緣的圖樣。資產的顯微鏡單元允許晶片上的缺陷被精確識別，以盡量減少基板損壞並產生更精細的圖樣。TEL MARK-7是一種最先進的處理模型,它允許易於使用的自動蒙版制作過程。其獨特的功能提供了所有面罩制作領域的最高精度，同時降低了成本和時間。這些特性使得TOKYO ELECTRON MARK 7成為光掩模製作業中極有價值的工具。
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