二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244883 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7（TEL MARK7）是為光刻和其他光刻工藝設計的世界級光刻設備。它結合了先進的電機控制技術、熱控工藝頭設計、超精密光學和獨特的晶圓座設計，創造了一個高度精確可靠的系統。該單元具有集成加載功能，允許用戶自動加載晶片並監控整個過程。TOKYO ELECTRON MARK-7能夠在光刻過程中檢測和糾正任何過量暴露，同時控制抗蝕劑模式，從而提高產量。該機具有強大的景深幾何畸變校正算法，能夠以高達2/1000的精度執行圖像評估。它還使用先進的激光掃描工具進行塗層、對準和測量，從而實現了高度的精度。MARK-7有幾個先進的特點使它在人群中脫穎而出。資產使用專有的高性能光學器件，使其比其他常規系統具有更高的準確性。它采用了先進的三維傾斜控制技術和最先進的伺服驅動器,以最高的精度而設計。TOKYO ELECTRON MARK 7還有一個獨特的特性，允許脈沖激光束能量恢復，這實質上有助於通過利用內置的主動冷卻模型來減少底物失真。此外，該設備采用模塊化設計，簡化了維護和升級程序。它的高效和快速的操作也使系統能夠通過要求最低的生產成本而保持經濟。該設備可持續使用,並且由於其內置診斷程序,在發生任何故障時,用戶將更早收到警報。綜上所述,Mark 7是一款高級光刻機,與其他系統相比具有許多優勢。它配備了先進的電機控制技術、精密光學、晶圓座設計，提高了精度和效率。它的模塊化設計使維護和升級更加容易,而其內置診斷功能提高了工具的可靠性和壽命。
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