二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9247333 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款光刻設備。該系統允許用戶使用液基或氣基抗蝕劑在基板上沈積一層光致抗蝕劑。在光致抗蝕劑單元中,光致抗蝕劑暴露於光。當光撞擊光刻膠時,它會改變化學結構,使某些部分變暗。這樣可以將其蝕刻到基材中。TEL MARK7機是專門為那些尋求高精度和高效沈積過程的人而設計的。TOKYO ELECTRON MARK-7光刻工具配備了TEL高級控制器資產TOKYO ELECTRON Vision-PGC。這種控制器模型的設計允許用戶以不同的階段來控制和監測光刻膠的沈積過程。視覺-PGC控制器還配備了一個自動化的光刻膠刷子,將抗蝕劑精確地沈積到微小的縫隙和其他難以到達的區域。該設備還設計用於跟蹤和記錄沈積層在大面積上的厚度、均勻性和光刻膠表面均勻性。先進的TEL/TOKYO ELECTRON Vision-PGC控制器還允許用戶設置各種參數,如要覆蓋的面積大小、沈積層厚度、沈積速度以及要沈積的圖樣等。此外,控制器系統還允許用戶根據需要修改參數。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7單元還提供沈積前對底層的精確測量和相應控制。這有助於用戶精確控制光刻膠層而不產生任何差異。機器還具有內置的邊緣覆蓋功能,有助於避免在基板上留下任何未塗布的區域。MARK-7光敏工具是電子制造的重要工具。該資產配備了強大的控制器模型,允許用戶管理光刻膠的沈積過程以及其他參數,最終得到一個精確的沈積層。該設備可為用戶提供精確高效的將光刻膠沈積在基板上的工藝。
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