二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9247370 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款光刻設備,用於開發光刻電子零件。該系統采用高度先進的深紫外光刻技術,在小型器件和基板上產生高長寬比、高分辨率特征。事實證明,TEL MARK7單元是開發需要高度精確度和精確度的電子零件的可靠且成本效益高的工具。在光刻過程中,使用機器、光刻膠或抗蝕劑塗層會受到正確波長的輻射。輻射可以由內置在工具中的源提供,也可以由外部光源提供,如激光。光致抗蝕劑隨後發生化學反應,並在暴露於光的區域中變硬。經過開發後,硬化的光致抗蝕劑在基板上起到保護層的作用,防止在不需要的區域蝕刻。TOKYO ELECTRON MARK-7資產包括一個8英寸的掃描頭,其景深可達4微米。它能夠產生低至1微米的分辨率,並提供各種曝光參數來控制陣列特征。為了提高準確性和吞吐量,模型包括執行同時曝光和開發過程的能力。此外,該設備還包括先進的預先檢查功能,允許在光刻膠暴露於所需光線之前對其進行測試。這允許用戶在過程的早期快速識別任何潛在的錯誤,並降低出現缺陷的風險。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7系統旨在提高生產時間和降低總體成本。此外,該單元與許多基材和材料兼容,非常適合廣泛的應用。機器的用戶界面易於使用,在整個光刻膠開發過程中提供全面的支持和幫助。
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