二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352304 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一種掃描光刻設備，準備晶片進行微加工。這一工具對於提供一個表面層以創建半導體電路至關重要，並且在制造現代電子器件時特別有用。TEL MARK7系統通常用於將光敏膠片沈積在晶片上。這層光刻膠有助於定義後續處理步驟所需的圖案，如光刻、蝕刻和沈積。TOKYO ELECTRON MARK-7單元采用計算機控制的掃描狹縫機制，將光刻膠從一個卷轉移到晶圓表面。利用光源垂直照射基板和光刻膠，而狹縫機構水平運行，使光刻膠均勻地沈積在整個晶片上。這一工藝可以進行優化，以適應薄層的光刻膠。MARK7還配備了集成視覺機器，以提供進一步的控制以及掃描檢測局部缺陷。Mark 7上的光致抗蝕劑由於狹縫機構的精確度極高，因此精度很高。這有助於確保晶片上所需圖樣的均勻性。此外，該工具具有較高的劑量準確度，寬闊的狹縫允許比單個噴嘴資產更精確地沈積光致抗蝕劑。總體而言，TOKYO ELECTRON MARK 7是處理晶圓的有效解決方案。其先進的技術確保了精確的光刻膠覆蓋範圍，並提供了出色的厚度控制。這確保了生產高質量半導體和電子器件的均勻性和準確性。